旋片油封式真空泵(簡稱旋片泵)是一種油封式機械真空泵系統,其工作原理是用真空泵油來保持運動部件的密封、靠泵腔容積變化而實現抽氣的一類機械真空泵。其工作壓強范圍為101325-1.33×10-2(Pa)屬于低真空泵。它可以單獨使用,也可以作為其它高真空泵或超高真空泵的前級泵。
簡單來說旋片油封式真空泵(簡稱旋片泵)是一種油封式機械真空泵,其工作原理是用真空泵油來保持運動部件的密封、靠泵腔容積變化而實現抽氣的一類機械真空泵。其工作壓強范圍為101325-1.33×10-2(Pa)屬于低真空泵。它可以單獨使用,也可以作為其它高真空泵或超高真空泵的前級泵。旋片式真空泵是真空技術中最基本的真空獲得設備之一,旋片泵多為中小型泵。旋片式真空泵有單級和雙級兩種(如圖1和圖2所示),所謂雙級,就是在結構上將兩個單級泵串聯起來以獲得較高的真空度。
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